Камера и объект
Дегазация, вакуумирование до технологического остаточного давления, контроль условий.
Метод для количественной оценки утечек с фиксированными параметрами процесса и метрологической прослеживаемостью. Объект размещают в дегазированной камере; регистрируется проникание гелия через дефекты.
Дегазация, вакуумирование до технологического остаточного давления, контроль условий.
Подача во внутренний объём объекта (или по КД), регистрация проникания через дефекты.
Давления, выдержки, идентификаторы эталонов и итоговое заключение о соответствии.